【計】 clean room
cleanness; pureness; purgation
【經】 clean-up
chamber; loculus; room; thalamus; ventricle
【醫】 camera; camerae; cell; chamber; room; thalamo-; ventricle; ventriculo-
ventriculus
清潔室(Cleanroom)在工業與科研領域中指通過空氣過濾系統、壓力控制及特殊建築材料維持超低微粒濃度的密閉空間。其核心功能在於防止生産過程中的微塵污染,廣泛應用於半導體制造、生物醫藥和精密儀器組裝等領域。
根據ISO 14644-1國際标準,清潔室按空氣中≥0.5μm微粒數量分為九個等級,其中ISO 1級要求每立方米微粒不超過12個。美國聯邦标準209E曾長期作為分級依據,現已被ISO體系取代。典型清潔室需包含三大系統:高效空氣過濾系統(HEPA/ULPA過濾器)、溫濕度控制系統(±1℃精度)和氣流組織系統(單向流或湍流)。
在微電子行業,清潔室需同時控制靜電(通常維持35-60%濕度)和分子污染(AMC濃度低於1μg/m³)。國際半導體技術路線圖(ITRS)規定,28納米制程芯片生産需達到ISO 3級标準,而5納米制程則需ISO 2級環境。
潔淨室(Clean Room),又稱無塵室或清淨室,是一種通過控制空氣污染物和環境參數來滿足特定工藝需求的封閉空間。以下是其核心要點:
潔淨室通過過濾、氣流控制等技術,将空氣中的微粒子(如灰塵、細菌)、有害氣體等污染物排除,并精确調節溫度、濕度、壓力、氣流速度等參數。其核心功能是為精密制造(如半導體、制藥)或無菌操作(如醫療手術)提供受控環境,防止産品污染。
潔淨室按ISO标準分為1-9級,例如ISO 5級對應每立方米≤3,520個≥0.5μm顆粒。實際設計中需根據工藝需求選擇技術方案,如制藥行業需額外控制微生物,而電子行業更關注靜電防護。
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